白袜校草被绑脱裤玩j,亚洲国产精品18久久久久久,久久国产精品二国产精品,狠狠色综合7777久夜色撩人,

13311665350

技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

當前位置:首頁技術(shù)文章AZO靶材 熱壓制備工藝

AZO靶材 熱壓制備工藝

更新更新時間:2020-10-12點擊次數(shù):3608

  透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide,TCO)是一種在可見光光譜范圍(380nm < λ < 780nm)透過率很高且電阻率較低的薄膜材料,由于其良好的光電性能在節(jié)能玻璃、熱窗、電磁屏蔽窗、觸摸屏、液晶面板、太陽能電池、發(fā)光二極管等領(lǐng)域,被作為智能窗口材料、加熱導體、電磁屏蔽材料、薄膜電容材料、透明導電電極等而得到廣泛的應用。

 

 

 

  TCO薄膜材料主要有CdO、In2O3、SnO2和ZnO等氧化物及其相應的復合多元化合物半導體材料。電子工業(yè)的飛速發(fā)展對透明導電薄膜綜合性能的要求日趨提高,同時巨大的使用量使以稀有金屬銦為主要成分的ITO透明導電薄膜的成本劇增。鋁摻雜氧化鋅(ZnO:Al,AZO)由于其良好的光電性能、豐富的原料儲量、良好的刻蝕性能及在氫等離子體中能夠穩(wěn)定存在等突出特點而受到廣泛關(guān)注。

AZO靶材特點

  AZO透明導電薄膜的禁帶寬度達到3.4ev,本征吸收限為360nm,可減少P,N型摻雜區(qū)對光的吸收,提高光能量的利用率,是合適的窗口層材料。同時,AZO在等離子體中穩(wěn)定性好,制備技術(shù)簡單,原料便宜易得,無毒,在性能上與ITO可比擬,這些特點使其成為ITO的替代品。隨著透明導電薄膜的應用發(fā)展,AZO濺射靶材及薄膜沉積技術(shù)成為研究熱點。

磁控濺射原理

  磁控濺射鍍膜工藝是指將涂層材料做為靶陰極,利用氬離子轟擊靶材,產(chǎn)生陰極濺射,把靶材原子濺射到工件上形成沉積層的一種鍍膜技術(shù)。

  磁控濺射鍍膜工藝對濺射靶材的要求較高,如尺寸、平整度、純度、各項雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制有明確要求。

 

AZO靶材 熱壓制備工藝

  AZO靶材性能指標有致密度、晶粒大小及均勻性、氣孔大小及分布、電阻率等,這些性能都與靶材的制備工藝,尤其與靶材的燒結(jié)致密化過程密切相關(guān)。

  與無壓燒結(jié)工藝相比,熱壓燒結(jié)可以降低燒結(jié)溫度,縮短燒結(jié)時間,抑制晶粒生長,可獲得晶粒細小、致密度高和電學性能良好的產(chǎn)品。采用熱壓燒結(jié)工藝制備的氧化鋅鋁(AZO)靶材具有純度高、雜質(zhì)少、相對致密度高、晶粒均勻、一致性高等優(yōu)勢,因此,研究AZO靶材的熱壓致密化工藝,對AZO靶材的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展和薄膜太陽能產(chǎn)業(yè)來說都具有重要的意義。

 

 

AZO粉體制備

  制備Al均勻摻雜的AZO粉體,一般采用化學共沉淀法和機械合金化。

  化學共沉淀法:是指將所需的金屬鹽溶于溶劑,加入沉淀劑形成前驅(qū)體,過濾、煅燒制備得到所需粉體的一種方法。

  機械合金化法:是將ZnO與Al2O3粉料充分混合后,通過球磨機在運轉(zhuǎn)過程中使粉末發(fā)生反復的變形、冷焊和破碎,從而實現(xiàn)元素間原子水平合金化。

AZO靶材熱壓燒結(jié)

高密度靶材的具體制備工藝:

  將原料粉體松裝如模具中,壓實后在真空狀態(tài)或惰性氣體的保護下,熱壓燒結(jié)制備。

  熱壓工藝參數(shù):抽真空至 1 ~ 100Pa,加壓30MPa;然后慢慢升溫,在1000℃ ~ 1200℃內(nèi)保溫約2小時,再緩慢降溫。

 

 

 

關(guān)注微信號

移動端瀏覽
熱線電話:13311665350

Copyright © 2025上海皓越真空設(shè)備有限公司 All Rights Reserved    備案號:滬ICP備2022033023號-2

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    管理登錄    sitemap.xml    總訪問量:370243

久久久国产精品免费a片3d| 国产色综合天天综合网| 最近2019好看的中文字幕免费| 粗长道具进菊羞耻调教| 握住校花两团雪乳高h| 国产成人无码A区在线观看视频 | 女女女女bbbbbb毛片在线| 男女啪动最猛动态图| 无套内谢少妇毛片a片软件| 人妻在卧室被老板疯狂进入| 亚洲日韩中文无码久久| 亚洲无AV在线中文字幕| 久激情内射婷内射蜜桃| 老汉精品免费av在线播放| 18禁高潮啪啪吃奶的漫画| 国产精品特级毛片一区二区三区| 久久人人爽人人人人爽AV| 国产精品美女一区二区视频| 少妇把腿扒开让我爽爽视频| 毛片24种姿势无遮无拦| 欧美乱大交xxxxx疯狂俱乐部| 精品久久久久久亚洲精品| 伸进同桌奶罩里摸她胸作文| 粗大的内捧猛烈进出沈块池汐| 国产日韩欧美在线视频一本到| 中文字幕乱码人妻一区二区三区| xxxx69hd一hd女| 国产又粗又猛又黄又爽无遮挡| 国产三级做爰在线播放| 爆乳一丝丝不挂裸体大胸美女写真| 三个人c了我半小时| 别揉我奶头~嗯~啊~动漫网站| 日本熟妇色熟妇在线视频播放 | 天天干天天日| 亚洲aaaa级特黄毛片发布| 名门嫡姝-213大h慎入| 老头把我添高潮了a片| 性做久久久久久| 亚洲国产精品无码久久九九大片 | 亚洲午夜精品a片一区二区无码| 教官脱了男生衣服摸j的故事|